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【摘 要】
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扩散硅压力传感器的基本原理是利用硅晶体的压阻效应。这种传感器通常具有灵敏度高,线性好的特点。但由于IC制造工艺和器件的温度特性等因素,这种传感器会有零点误差、灵敏度
【机 构】
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华中科技大学
【出 处】
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华中科技大学
【发表日期】
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2007年期
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