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精密微动平台广泛应用于生物工程、医疗科学、微机械制造、航空航天等前沿领域。微动平台往往工作于温度变化的环境中,温度变化会使其产生热应力和热变形,降低了平台的精度,所以,考虑温度效应的精密微动平台的力学性能研究具有重要的理论和实际意义。本文考虑了温度效应,采用有限元方法对精密微动平台进行建模、性能分析和性能综合,主要工作如下:(1)为了减小温度效应对柔性铰链的影响,比较分析直梁、直圆、椭圆和抛物线型4种典型柔性铰链的温度效应,以便合理选取柔性铰链设计柔顺机构。将柔性铰链划分为2个变截面梁单元,计入温度