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该文将采用AFM作为测量手段对于加工件的表面进行粗糙度测量以及从分形理论方面对表面粗糙度进行系统研究.该文详细的介绍了中国科学院北京机电设备研究院生产的HL-Ⅱ型扫描探针显微镜(包括AFM探头)的各个部分组成及主要功能,以及调试与测量过程.用AFM对采用冰盘抛光后的铝合金和硬质合金件进行测量.分析了主轴转速和王轴偏心对于加工件抛光效果的影响.分析了各种二维以及三维分形维数计算方法的计算误差,从中得出最适于用于工程表面的分形维数计算方法.对AFM扫描出的二维表面轮廓曲线采用分形理论进行了分析,得出分形维数与粗糙度之间的近似关系.