纳米加工技术和利用InAs自组装量子点实现单电子器件集成的实验研究

来源 :中国科学院物理研究所 | 被引量 : 0次 | 上传用户:txmotor
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该论文首先系统介绍了单电子器件的基本工作原理和相关知识,然后讲述了作者在攻读博士学位期间所做的主要研究工作,内容主要集中于纳米结构的制备研究和单电子器件集成原理的实验研究.
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