随着科学技术的不断发展,大深径比超微孔应用越来越广泛。目前,在国外大深径比超微孔加工技术已经达到很高水平。在国内,此技术也在不断发展,但大深径比的超微孔加工仍是个难题。本文提出一种单侧超微孔成形方法,通过金刚石刀尖钝圆的微尺度作用对硬基底效应下的金属薄片压透成孔。这种方法加工的微孔可以应用于超声波测漏仪上,因此,研究单侧超微孔加工方法具有十分重要的价值和意义。本文首先对材料的微观滑移到宏观断裂进行了理论研究,对金属变形断裂与声发射信号之间的关系进行理论分析。设计出载有声发射传感器、力传感器和微视频显微镜的多传感器的金刚石纳米印压成孔装置。根据试验需要,对各个传感器的型号进行选择,并搭建载有多传感器的试验平台。然后,进行金刚石纳米印压试验的试验方案设计,通过大量的工艺对比试验,确定压头压入速率、压头停留时间和压头圆锥角度数对试验结果的影响规律;对不同硬度的材料分别进行压孔试验,结合材料的属性,研究金属材料塑性对压孔试验的影响规律;对压孔过程中的压头倾斜量的计算和压入过程中玻璃基底的弹性变形量进行理论研究分析;总结出金刚石纳米压孔的最佳试验工艺参数。最后,通过大量试验结果对比分析,既验证了金刚石纳米印压成孔试验装置的可行性,又获得了金刚石纳米印压成孔的成形规律,为金刚石纳米印压成孔技术的进一步研究奠定了基础。