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科学技术的进步总是与各类先进制造技术相同步,科技的突飞猛进也受益于人类对更高、更快以及未知的不断追求。近些年伴随着电子产业、生物技术和航天航空技术的发展,人们对于高端精密设备的需求也更加急迫,比如芯片制造用的极紫外光刻机、更高分辨率的电子显微镜及更远更清晰的太空望远镜等。这些高端设备的研发和制造对光学元件的表面平整度以及面型精度提出了更高的要求,此外由于光学元件的制造一般使用硬脆材料,因此要求工件抛光后不会破坏工件表面晶格结构和无应力损伤。对于这些高要求的光学元件已经不能使用传统的研磨抛光方法来加工