论文部分内容阅读
[!--newstext--]
[!--title--]
【摘 要】
：
本文主要采用微波电子回旋共振等离子体化学气象沉积方法制备硬质类金刚石薄膜(DLC),并对DLC薄膜制备参数,结构成分以及性能进行了研究及表征。获得DLC薄膜制备的最佳工艺。利用微波电子回旋共振等离子体气象沉积(ECR-CVD)方法在单晶硅片上沉积DLC薄膜,实验过程中,以CH_4气体作为碳源,Ar气作为辅助电离气体,微波500 W将反应气体电离后,生成的高密度等离子体在基片表面发生复杂的化学过程,
【机 构】
：
大连理工大学
【发表日期】
：
2018年01期
其他文献
随着我国高等教育的进一步发展,民办大学得到进一步发展,教学规模不断扩大,也吸引更多学生的加入.民办大学的录取条件相对较低,给予更多学生接受高等教育的机会.与此同时,民
ZnO是一种具有纤锌矿结构的宽禁带半导体材料，在室温下其直接带隙宽度为3.3eV，激子束缚能为60meV，这比同是宽禁带材料的ZnSe（20mev）和GaN（21meV）都高出许多，而且比GaN，SiC和其它Ⅱ-Ⅵ
伴随我国经济的不断发展,社会对于人才的要求更加全面、系统,这与我国的教育水平密切相关.特别是初中的教育,作为在整个的教育体系中无论是承上还是启下都极为重要的一环,也
本文针对面向模具专业的《机械制图》课堂教学改革项目的研究背景进行介绍,项目实施过程和成果进行分析和总结.该项目的实施提高了教学效果和质量,增强了学生的学习兴趣,提高
介观系统的尺度介于宏观与微观系统之间。Stadium器件中粒子的行为不可积，本文研究了粒子在不可积系统中的非线性行为。混沌系统中粒子最为明显的特征是在混沌区域粒子对初始
《桥梁工程》课程教学中目前存在教学理念落后、理论与实践脱节的现象,导致教学效果难以提升,学生缺乏创新.在课程教学过程中,通过引入模型创作的教学方法,由学生自主完成桥
人类对于地球内部的认识，尤其是对地幔和地核物质组成的理解，目前主要依靠地球物理资料(主要是对地震波数据的解释)和高温高压实验的结合来研究。近几十年来，对各种地球候选矿物
随着信息科学技术的发展和市场经济环境的变化,营销人才培养面临着越来越严峻的挑战.服务营销学是国家教育部确定的全国高等院校经济管理类专业的核心课程之一,教学效果的好
本文对强关联LaCaMnCoO体系的铁磁/反铁磁相互作用与输运行为进行了研究。文章对钙钛矿型锰氧化物研究的历史、现状及发展趋势进行了论述；总结了传统的固相反应法制备La5/8Ca3