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【摘 要】
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在超大规模集成电路制造工艺中,有近三分之一的工序用到低温等离子体技术,如材料刻蚀、薄膜沉积等。在实际工艺中,一般采用复杂的反应性气体及多种气体混合放电产生等离子体,
【发表日期】
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2017年01期
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