【摘 要】
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离子反馈是影响微光像管图像质量和寿命的主要因素,在像管中MCP输入面上制作一层3-4nm厚AlO超薄离子壁垒膜层,其在阻止离子反馈,提高像质和像管的稳定性及可靠性,延长器件的
【出 处】
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长春光学精密机械学院 长春理工大学
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离子反馈是影响微光像管图像质量和寿命的主要因素,在像管中MCP输入面上制作一层3-4nm厚Al<,2>O<,3>超薄离子壁垒膜层,其在阻止离子反馈,提高像质和像管的稳定性及可靠性,延长器件的工作寿命等方面起到了决定性作用.该文还对两种工艺所制备的离子壁垒膜层及带膜MCP的电学性能进行了测试和比较.测试结果表明,新工艺所制备的离子壁垒膜层质量高,含碳量低,工艺过程对MCP电学性能的影响小,是目前值得推广应用和探索的新技术.
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