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该论文"微机械陀螺的材料和器件设计研究"主要围绕两个方面开展工作.第一方面是中美合作项目"用于微传感器和微驱动器的电铸材料和电铸技术".选定Fe-Ni合金作为电铸材料,并就其电镀工艺、电镀材料性能及电铸技术三方面进行了研究.结合Si体微机械技术和电镀技术加工出一种新颖的Fe-Ni/Cu/Si复合悬臂梁.第二方面是利用DRIE技术制作体硅微机械陀螺.在对双框架陀螺和梳状陀螺进行比较后,创造性地提出了一种简单而新颖的振子-框架式微机械陀螺.