本文主要是以高精度晶圆切割机为背景，研究其运动轨迹的规划和切割机误差的测量及补偿技术。切割机采用固高 GUC系列运动控制器，在硬件平台的基础上，运用 VC++编写运动控制程序，程序中各个模块之间相互独立，便于以后修改和升级。本课题重点研究切割机运动过程中误差的补偿技术。首先，针对切割机几何误差的特点，通过分析各项误差源，提出了平面误差网格测量的方法;然后系统将采集到的误差存放到数据库中，分别用插值和逼近的拟合方式建立误差模型，将切割机的工作空间与误差模型进行映射。其次，分析了切割机点位运动和直线运动的补偿原理，并基于这一原理研究并比较了9点、16点和25点平面补偿法的优缺点。最后，本设备采用机器视觉进行定位，定位后系统会自动规划加工路径;在比较分析了直角转弯和圆弧转弯的优缺点后，最终采用圆弧转弯的路径规划模式。加工过程中误差补偿模块会将采集到的误差通过计算对运动轨迹进行补偿，从而实现高精度的加工效果。