传感器广泛应用于国防、环保、工业、农业、交通运输、日常生活的所有领域,并伴随着现代科学技术的进步而不断发展.薄膜传感器是随着薄膜技术的成熟而发展起来的一种新型微传感器.薄膜传感器在动态响应、灵敏度等方面都有着十分明显的优点.传统的传感器与其相比,因功能差,体积大,已很难再满足要求而将被逐渐淘汰.发展高性能的、先进的微传感器已成为必然.该文从热敏电阻传感功能薄膜传感机理出发,以热敏电阻薄膜的电阻温度系数作为研究对象,通过实验研究电弧离子镀方法制备薄膜热敏电阻各工艺参数对电阻温度系数的影响规律.选镍、钛、铝为膜材制备了热敏电阻薄膜传感器,并采用正交试验法研究了本底真空、工作电流、工作气压、加热温度、靶基距这五个因素对电阻温度系数的影响,运用极差分析、方差分析寻求制备热敏电阻传感薄膜的最佳工艺;以正交试验的实验数据为基础,通过回归分析建立制备工艺参数与电阻温度系数关系的数学模型,应用复合形优化方法对数学模型进行优化,从而确定制备热敏电阻传感薄膜的最佳工艺.经实验验证,应用复合形法对镀膜工艺参数优化,其结果与实验结果存在较大的误差.在正交试验数据的基础上,通过应用人工神经网络的BP网络,结合多种学习算法,建立电弧离子镀热敏电阻传感薄膜的神经网络模型,利用实验结果作为神经网络的学习样本,对模型进行训练,用训练好的模型对工艺规律进行仿真,利用仿真结果进一步体现电弧离子镀镍薄膜热敏电阻的工艺规律,为实现参数优化提供了前提;应用遗传算法对电弧离子镀热敏电阻传感薄膜的神经网络模型进行优化,确定了制备热敏电阻传感薄膜的最佳工艺,并经过实验验证,结果表明仿真优化结果与实际相符.