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随着当今生产力的高度发展,高速高精度伺服运动系统已广泛应用于半导体加工行业。然而如何确定系统的运动控制边界以满足人们认知系统、选择系统及设计系统的要求,本文将就伺服系统的运动控制边界展开估计讨论。该估计方法不仅具有理论意义,更与实际系统相结合,具有重大的实际应用价值。首先,辨识系统模型。针对高速高精度含有高频共振频率点的二维运动平台进行研究。以理论模型为基础,确定模型的结构。模型分为低、高频以及基座模型三部分。低频模型为标称模型,能够反映系统的基本输入输出关系,利用时域辨识方法;高频模型