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【摘 要】
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近年来，随着科技的飞速发展，设备微型化、微芯片高度集成化、操作精密化等使微/纳米技术成为国内外研究的重点方向，而精密定位技术是微/纳米技术领域中的关键技术。微动定位平台
【机 构】
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广东工业大学
【出 处】
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广东工业大学
【发表日期】
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2017年期
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