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薄膜形成的早期阶段包括粒子在衬底上的沉积、簇或岛的形成和长大并相互连接形成连续的结构，由于在形成连续结构前薄膜的晶粒尺寸就是由簇的尺寸分布决定的，而晶粒的尺寸，将强烈影响薄膜的机械和电学性能，因此，研究薄膜形成的早期阶段对最终薄膜的性能非常重要；例如，晶粒尺寸越大，对电子迁移的阻力越高，因而超大规模集成电路（VLSI）相互连接的寿命越长。 近年来，随着扫描电子显微镜、原子力显微镜等具有