【摘 要】
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CN薄膜具有许多优异的物理、化学特性,如超高硬度、高耐磨性、低摩擦系数、宽带隙以及对红外波段有高透过率等,最近又发现CN薄膜具有良好的生物相容性,在机械、光学、电子、
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CN薄膜具有许多优异的物理、化学特性,如超高硬度、高耐磨性、低摩擦系数、宽带隙以及对红外波段有高透过率等,最近又发现CN薄膜具有良好的生物相容性,在机械、光学、电子、航天和生物等领域有着广阔的应用前景.该文利用射频磁控溅射沉积了CN薄膜,并研究了CN薄膜的光学性能和生物相容性,主要进行了以下几个方面的工作:1、探索CN薄膜的沉积工艺.利用单因素试验法探索了CN薄膜的沉积工艺,获得了沉积CN薄膜的最佳工艺参数.2、研究CN薄膜的内部结构.3、利用椭偏仪测量CN薄膜的折射率,研究折射率的变化规律.4、利用细胞培养技术研究CN薄膜的生物相容性.5、利用划痕试验法研究CN薄膜与玻璃的结合强度.
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