基于Matlab的划片机自动对准系统研究

来源 :华东理工大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:fukuilover123
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
随着半导体工业的飞速发展,原有的手动对准和半自动划片机在精度、功能、加工效率等方面已不能满足生产需求。作为IC后封装线上的第一道关键设备,划片机技术标志着国家的科技水平,因此自主研发全自动划片机意义重大,刻不容缓。   本文的研究内容是数字图像处理技术在划片机自动对准系统中的应用,论文晶圆图像为研究对像,详细论述了自动对准系统中各种图像处理和识别方法的选取,并通过Matlab仿真验证了文中所采用的算法达到了富安工厂自动化有限公司的要求。本方案自动对准系统研究主要包括为以下几部分:   首先对成像系统进行了研究,选择物镜方案和摄像器材,学习图像卡的接口及相关功能函数,分析各种图像储存格式。完成晶圆图像的获取、数字化和存储等工作,为下一步图像预处理做准备。   晶圆图像预处理,目的是改善图像质量,为晶圆切道的识别和提取做准备。本文中采用了图像灰度化、直方图均衡化、中值滤波、边缘检测等方法来增强图像,以有利于目标区域的提取。   本文对传统的模板匹配算法进行了简化,在实现晶圆切道的识别和提取的基础上,有效提高了算法的运算速度。本文采用最小二乘法进行中心线拟合,算法简单,结果分析表明该方案在精度和实时性上都有很大提高,满足公司的要求。但是本文设计的对准系统在抗干扰性、通用性、精度等方面存在缺陷,仍然有较大的提高空间。
其他文献
乡村振兴背景下,重新认识乡人是时代的迫切需要.乡人是乡村社会的主体,其思想及行为基于乡村这一特定空间展开.蒋梦麟《西潮》中关于传统乡村世界的描写,为我们观察与理解日
本文首先对国内外多足步行机器人的研究现状和关键技术等方面的文献进行了综述。以螃蟹为生物原型,通过实验研究分析了其生物结构和运动特点,并与八足步态状态和波形步态相关理
在连铸坯生产过程中,表面缺陷是影响连铸坯质量的重要因素。传统的人工检测方法存在着工作环境恶劣、检测效率低等问题,无法满足检测要求。假如连铸坯存在表面大裂纹,后续的钢板
目前,我国管道焊接施工仍以手工电弧焊为主,半自动焊为辅。在施工过程中,由于人为因素造成的质量不稳定问题比较突出。而自动焊技术在大直径厚壁压力管道焊接中全面应用尚有
近年来,以工业机器人为代表的串联机器人得到了广泛的应用,尤其在自动化程度很高的生产线上,串联机器人更是成为代替重复单调劳动力、提高生产效率和产品质量的重要途径。随着串联机器人在航空航天、精密制造等领域的逐渐应用,轻质、高速、高机动性将成为其发展的一个重要方向。但由此造成的低频机械振动、末端定位精度下降等问题,则成为这类串联机器人需要解决的关键问题。本文在研究三自由度串联机器人运动方程,以及磁流变阻
期刊
期刊
由于环境问题和能源短缺,电动汽车成为世界各国研究的热点。目前,车辆续驶里程短是纯电动汽车存在的主要技术问题之一。因此,为了提高纯电动汽车的续驶里程,本文设计了具有再生制
期刊
期刊