反射型红色镀膜玻璃的制备与表征

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彩色玻璃广泛应用于装饰、滤光、照明、信号、激光等方面,对于人们的生活和工业生产意义重大,但是传统方法采用熔入过渡金属离子于熔融玻璃中制得的彩色玻璃透明性差、成本高,且回收处理复杂,不利于节能环保的要求。因此,采用离线镀膜法制备彩色镀膜玻璃正成为一个全新的解决方法,越来越受到人们的重视。红色薄膜是指对可见光谱中波长位于620~780nm的红光具有高反射率或高透射率的薄膜。前者如望远镜中的红膜物镜,后者如应用于温室大棚中的红色薄膜,其对红光部分透射率很高,能最大满足某些作物对于红光的需求。同时红色光是可见光中波长最大的单色光,制得反射红光镀膜玻璃,对于制备其他任意反射型单色光镀膜玻璃的意义重大。   本文主要基于光学薄膜理论及薄膜制备原理,设计并优化了反射型红光薄膜的膜系结构,研究了高反射红光镀膜玻璃的制备工艺及表征方法,讨论了TiO2薄膜及SiO2薄膜作为高低折射率材料,其制备工艺及各工艺参数对于薄膜性能的影响,探索了TiO2薄膜及SiO2薄膜的最佳制备工艺参数。   采用射频磁控溅射法,溅射纯石英靶材,在玻璃的表面镀制SiO2薄膜,利用台阶仪测定单位时间内镀制薄膜的厚度,计算出薄膜的沉积速率,使用分光光度计,测量SiO2薄膜在可见光区的透过率,运用正交实验法,分别研究了溅射功率、基片温度、氧气含量及工作气压对于SiO2薄膜沉积速率以及可见光透过率的影响。   以金属Ti为靶材,通入氩气及氧气作为反应气体,采用直流反应溅射法制备TiO2薄膜,利用椭圆偏振光谱仪拟合出薄膜在550nm波长处的折射率,研究了溅射功率、基片温度、氧气含量、工作气压对于TiO2薄膜沉积速率及折射率的影响。将制得的TiO2薄膜在200℃、300℃、400℃、500℃下离线退火2h,采用X射线衍射仪及扫描电子显微镜观察退火处理后TiO2薄膜的晶体结构和表面形貌的变化,分析热处理制度对于TiO2薄膜折射率的影响。   利用1/4波堆规整设计法,设计出(HL)2H结构的五层复合高反射红膜,其中H层为TiO2薄膜,L层为SiO2薄膜,运用Autofilm光学薄膜设计软件,模拟出其在可见光区的透反射率曲线,采用多靶磁控溅射仪镀制(HL)2H结构的复合膜层,并用分光光度计测定其在可见光区的透反射率,优化膜系结构为0.5L(HL)2H0.5L,结果表明,该结构的反射红膜很好的抑制了反射次峰,提高了红光区域的反射率。
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