多晶铜薄膜材料在MEMS(micro-electro-mechanical system)元器件中得到了广泛应用，由于铜薄膜在使用过程中经常承受循环载荷作用而发生破坏，疲劳强度已成为制约MEMS器件长期服役可靠性的因素之一。如何提高服役中MEMS元器件的疲劳性能已成为国内外学者研究的重点。本文采用激光辐照处理方式，试图提出一种能有效愈合MEMS零部件疲劳损伤的方法，为提高服役中MEMS构件的疲劳性能提供参考依据。　　第一，利用激光辐照处理方法对铜薄膜的疲劳损伤进行愈合。通过研究激光辐照对铜薄膜试件表面划痕和微裂纹的影响，发现了强化现象和愈合现象。对愈合后试件的应变变化进行了分析，发现试件的弹性应变不变，而塑性应变则得到了明显降低。铜薄膜试件的应变集中系数在激光处理前后保持一致。提出损伤愈合的判定准则，对损伤愈合效果进行判定，并利用试验数据验证了准则的正确性。　　第二，对激光辐照处理铜薄膜的温度场进行了模拟，表明愈合效果较优的温度为1750摄氏度左右。对多次损伤愈合结果进行了分析，结果表明多次损伤愈合可以最大程度地提高试件的累积使用寿命，当应力为130MPa，预制损伤量为2倍原始寿命时，效果较好，累积寿命可达到原始寿命的11.4倍。　　第三，提出局部应力转换法，对激光辐照愈合后铜薄膜的剩余疲劳寿命进行预测，预测结果能够较好地符合试验寿命。　　第四，采用C＃语言编程方法，开发了一套激光辐照愈合系统，包括损伤愈合判定准则和寿命预测。测试结果显示开发的系统是可接受的。