干涉式表面测量仪数据采集与预处理技术的研究

来源 :哈尔滨工业大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yueyangmm22
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该文采用高斯数字滤波器(Gaussianfilter)作为计算中线的方法,这是一种递归式、高效率、高精度的粗糙度和波纹度的分离技术.通过仿真测试实验,验证了所研制的干涉信号数据采集与信号预处理系统可靠的工作,为研制整机打下了基础.
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