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干涉式表面测量仪数据采集与预处理技术的研究
干涉式表面测量仪数据采集与预处理技术的研究
来源 :哈尔滨工业大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yueyangmm22
【摘 要】
:
该文采用高斯数字滤波器(Gaussianfilter)作为计算中线的方法,这是一种递归式、高效率、高精度的粗糙度和波纹度的分离技术.通过仿真测试实验,验证了所研制的干涉信号数据采
【作 者】
:
周明
【机 构】
:
哈尔滨工业大学
【出 处】
:
哈尔滨工业大学
【发表日期】
:
2003年期
【关键词】
:
表面粗糙度
可编程逻辑器件
干涉测量
高斯滤波
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该文采用高斯数字滤波器(Gaussianfilter)作为计算中线的方法,这是一种递归式、高效率、高精度的粗糙度和波纹度的分离技术.通过仿真测试实验,验证了所研制的干涉信号数据采集与信号预处理系统可靠的工作,为研制整机打下了基础.
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