氧化物超导与铁电薄膜的脉冲激光沉积(PLD)生长、性能研究,及其在可调谐微波器件中的应用

来源 :中国科学院物理研究所 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hymalong
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本文以钙钛矿氧化物高温超导体YBa2Cu3O7-δ(YBCO)和铁电体BaxSr1-xTiO3(BST)为主要研究对象,研究了薄膜的生长工艺参数、结构和物理性能之间的内在关系,并对影响BST薄膜性能的几种主要因素:生长模式、氧含量、界面位错与晶界、底电极材料、薄膜厚度和生长温度等的物理机制进行了深入探讨。文章研究了氧含量对BST薄膜结构和介电性能的影响。随着薄膜生长氧压的提高,薄膜面内的应力状态发生了从压应力到张应力的改变。实验结果显示一个沿外加电场方向的适当张应力有助于提高BST薄膜的介电性能。通过合作,基于Au/BST/MgO材料成功制作出性能较好的室温分布式微波移相器。
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