随着电子元器件微型化和高性能比的进一步发展，下一代电子元器件的散热将超过1000W/cm<2>，现有的气体冷却技术已无法满足如此之高的热流密度的散热需求，因此迫切需要发展液冷技术。 微型电液动力泵是一种可以直接置入液体流道内输送液体的装置，由若干对电极组成，当电极通入直流电时，静电场作用在电介质中的偶极子上，造成液体的流动，实现了泵的功能。这种微型泵没有运动部件，且与流动通道整体集成，还可根据系统的要求实现泵的串／并联组合。 本文对微型电液动力泵进行了设计及实验研究，利用MEMS技术完成了微型电液动力泵的制作，利用铜作为电极材料，电极宽度为40μm，长度15mm，电极间距50μm，相邻电极对之间的距离为100μm，通道高度100μm。基板材料选用硅和玻璃，工作介质采用的是无水乙醇和3M公司的HFE7100。 通过实验测试，当通电电压为12V，工作介质为HFE7100时，可产生的最高压强为1030Pa；工作介质为无水乙醇时，可产生的最高压强为560Pa；与理论计算及国外相关研究进行了比较，效果明显。另外，本文初步应用了ansys软件模拟。 通过本文的研究，为今后超高功率器件的冷却提供了可靠的技术保证。今后需要继续深入模拟，优化结构尺寸，并研究利用电液动力泵进行驱动制冷，在流动和传热方面的效果。