【摘 要】
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金刚石压力传感器的制作是高温传感器件的一个重要研究方向,具有很大的市场潜力.该文围绕金刚石薄膜高温压力传感器的制作这一主题,从材料制备、器件结构设计、工艺设计以及
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金刚石压力传感器的制作是高温传感器件的一个重要研究方向,具有很大的市场潜力.该文围绕金刚石薄膜高温压力传感器的制作这一主题,从材料制备、器件结构设计、工艺设计以及制作几个方面对金刚石压力传感器进行了详细研究.在建立压阻式金刚石薄膜压力传感器的解析模型的基础上,优化设计出压力传感器的版图,初步制作出金刚石压力传感器的原型芯片.论文主要研究内容包括:在材料制备方面,研究了与器件制作有关的几个问题,即高质量纳米金刚石薄膜的制备、复合金刚石薄膜的制备及其介电性能.对热丝CVD常规和纳米金刚石薄膜的介电性能进行了系统的研究.提出了一种利用纳米复合涂层技术实现金刚石薄膜表面平坦化的方法.在器件模拟与结构设计方面,以薄板弯曲理论为基础建立了压阻式金刚石薄膜压力传感器的解析模型,从而实现了在设计阶段就对压阻式金刚石压力传感器的灵敏度和线性度进行初步的预测.
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