结合在研的微电子装备中机器视觉辅助检测重大项目为背景,该文对机器视觉检测的相关问题进行了深入的研究.在微电子制造过程中,元件的检测工作分布于几乎所有的工序和装备,它包括了定性检查(元件类型、封装形式等)和定量检查(元件缺陷和尺寸公差等)两部分内容.具体在表面贴装中,元件检测是保证对类型正确、无形状缺陷、尺寸满足公差要求的表面贴装元件进行贴片工作和对形状完整的定位基准进行定位的前提条件.该文针对上述检测要求进行了元件类型检测、圆形引脚元件检测、直边引脚元件检测、微小型元件的亚像素精度检测及摄像机参数标定等工作,并推广到其它装备中的类似检测问题.在进行元件类型检测时通过粗略的定量检查给出定性检测结果,在此过程中得到的粗略的定量结果也可作为后续元件定量检测的初始值.文中首先给出了分层次检测元件属性的基本策略,它往往检测元件部分属性即可判断其类型.元件图像通过数学形态学处理后,用链码表示出元件每个引脚的封闭轮廓.根据所得轮廓用计算矩的快速算法得到了引脚的矩特征,并据此判断引脚形状以完成类型粗检测.圆形引脚元件是一类重要的表面贴装元件,是元件类型的一种发展趋势,如BGA、CSP、圆形定位基准等.该文首先从检测圆形特征入手,再根据类型检测时得到的初始位置信息进行元件整体性能的检测.直边引脚元件是另一类常用表面贴装元件,和矩形定位基准一样,它们都是由直线边缘组成.该文通过分析尺蠖的仿生学特性,提出了尺蠖蠕行算法以用于直线特征的检测.随着元件微小型化的发展趋势,常规尺寸检测已不能满足元件检测的要求,该文的亚像素直线特征检测就是基于上述要求而进行的.该文提出的边缘导向方法把图像分成边缘区域和非边缘区域.