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【摘 要】
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结合在研的微电子装备中机器视觉辅助检测重大项目为背景,该文对机器视觉检测的相关问题进行了深入的研究.在微电子制造过程中,元件的检测工作分布于几乎所有的工序和装备,它
【机 构】
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上海交通大学
【出 处】
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上海交通大学
【发表日期】
：
2004年期
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