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【摘 要】
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随着纳米技术的发展,微细作业作为一种新型的作业形式越来越受到研究者的注意;而微操作器作为微细作业系统的末端,是介于宏装置与微对象的桥梁,其性能优劣是微细作业任务成功的关键。为研制符合需求的微操作器,本文对微操作器的驱动技术、机构设计、传感检测及控制方法等关键技术进行了探讨。基于柔性机构的放大原理,论文采用压电陶瓷驱动器加柔性机构的结构形式来设计微操作器的执行机构;以数字直流稳压电源和电涡流传感器实
【机 构】
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东南大学
【发表日期】
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2006年03期
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