在本论文中,我们用脉冲激光沉积技术(PulsedLaserDeposition简称PLD)在熔石英基片上成功地制备了掺杂银的氧化锌薄膜及掺杂硼的氧化锌薄膜。还用自己搭建的化学气象沉积(CVD)系统在硅和氧化镁上面制备出二硼化镁薄膜。实验发现制备的薄膜质量较高,在与激光相互作用时,发现有激光诱导光生伏特信号,特别是我们制备的掺杂的氧化锌薄膜在于红外激光相互作用时,随着位置光生电压也在发生变化。这可以使其有制备出红外位置探测器件的可能性。　　 主要介绍了制备的二硼化镁薄膜和制备氧化锌的流程,进行相关的结构测试和表面形貌分析。并研究了用248nm、308nm激光和二硼化镁薄膜的相互作用,还用266nm、308nm、1064nm和10.6μm的连续二氧化碳激光与掺银和掺硼的氧化锌相互作用。结果显示了二硼化镁薄膜有很好的光生伏特效应。而对于掺杂的氧化锌薄膜,在266nm、308nm的紫外波段激光的作用下也有很好的光生伏特效应,在1064nm和10.6μm的红外激光作用下,发现光生电压信号随着位置的变化有很好的规律性,这可能使这种薄膜可以在制备红外位置探测器件方面有很大的价值意义。