论文部分内容阅读
由于类金刚石(DLC)膜具有其独特的性质,例如：高硬度,低磨损和低摩擦,以及抗腐蚀性和较好的化学稳定性,在过去的20年里,人们对它展开了大量的研究。类金刚石膜已经成为重要的技术材料,在许多机械领域得到运用。但是DLC薄膜也存在某些缺陷,尚无法满足工业上的一些特殊要求。因此近年已经开始了在DLC薄膜中掺杂金属或非金属元素的研究。目前发现：加入Si能明显改善DLC膜在潮湿空气和高温下的性能,具有很好的工业应用前景。但是,实验研究表明,硅的添加量对掺硅类金刚石(Si-DLC)膜的微观结构和摩擦学性能的影响