【摘 要】
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本文对SiC/SiO纳米复合薄膜和低维ZnO纳米结构的制备及其特性进行了研究。文章采用SiC/SiO2复合靶，用射频磁控共溅射技术和后高温退火的方法在n型(111)Si片上制备出了SiC/SiO2镶嵌结构纳米复合薄膜；采用射频磁控共溅射方法在Si(111)衬底上沉积Zn/SiO2复合薄膜。文章同时介绍了把充分研磨后的ZnO微晶粉末和SiO2微晶粉末溶于乙醇溶液中，加入少量硝酸做电解质，经超
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本文对SiC/SiO<,2>纳米复合薄膜和低维ZnO纳米结构的制备及其特性进行了研究。文章采用SiC/SiO2复合靶，用射频磁控共溅射技术和后高温退火的方法在n型(111)Si片上制备出了SiC/SiO2镶嵌结构纳米复合薄膜；采用射频磁控共溅射方法在Si(111)衬底上沉积Zn/SiO2复合薄膜。文章同时介绍了把充分研磨后的ZnO微晶粉末和SiO2微晶粉末溶于乙醇溶液中，加入少量硝酸做电解质，经超声波充分振荡后得到电泳液。用自制的电泳装置在硅衬底上沉积了ZnO/SiO2复合薄膜，然后放入石英炉分别于650℃和950℃退火热处30min。测试结果表明，样品经650℃退火后，复合薄膜ZnO和SiO2微晶颗粒集结成块状，结晶程度较高，颗粒尺寸较大，不连续的散落在硅衬底上，和溅射法成膜相比，膜不致密。经950℃退火后，其中ZnO和SiO2发生反应生成少量的ZnSiO4微晶颗粒，使复合薄膜在室温下的绿色发光强度有所增加。
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