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来源 :华南理工大学 | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
论文采用国产AIP-01型电弧离子镀膜设备,在高速钢、不锈钢和硬质合金基体上沉积出TiN和(Ti,Cr)N薄膜,研究了沉积工艺对薄膜性能的影响,用扫描电镜对薄膜的表面形貌、界面结构
【作 者】
:
李春明
【机 构】
:
华南理工大学
【出 处】
:
华南理工大学
【发表日期】
:
2004年期
【关键词】
:
电弧离子镀
电弧离子镀磁过滤
磁过滤TiN薄膜
TiN薄膜多层膜和复合膜
多层膜和复合膜
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