该文研究制备大面积多孔SiO<,2>减反射薄膜,并采用各种测试手段对它们的结构与性能进行了表征与分析.使用射频溅射和溶胶-凝胶两种方法在玻璃表面制备SiO<,2>减反射薄膜,比较两种方法制备的薄膜减反射效果.利用动态光散射仪、TEM以及红外光谱仪对溶胶特性进行了分析,探讨了溶胶的浓度、陈化时间对溶胶颗粒分布的影响以及溶胶陈化时间、催化剂、热处理过程对溶胶有机基团的影响.利用紫外可见光谱仪测定镀膜玻璃在可见光波长范围内的透过率,探讨了溶胶的浓度、陈化时间、催化剂、热处理过程以及双层梯度膜对镀膜玻璃透过率的影响.同时对单层薄膜以及双层梯度薄膜的表面形貌进行了扫描电镜观察,相应地探讨了溶胶的浓度、陈化时间、催化剂、热处理过程对薄膜表面形貌的影响.最后采用正交试验方法分析多因素对溶胶-凝胶试验的影响,得出最佳的工艺条件.