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太阳能作为一种清洁廉价可持续的新能源得到各国普遍重视。在单晶硅上堆积非晶硅薄膜制成的混合硅太阳能电池具有较高的效率。在硅表面覆盖亚波长光栅结构可以降低硅对太阳光的反射率,使用多层增透膜结构可以增加宽带透过率。菲涅尔光栅是一种重要的衍射光学元件,随着光学技术和微电子加工技术的发展,人们已能用干涉曝光法、激光直写和电子束直写方法制作菲涅尔光栅掩模版,利用干法和湿法刻蚀法在不同材料上刻蚀出菲涅尔光栅。本论文的目的是利用菲涅尔波带片光栅薄膜减小光在薄膜太阳电池表面的反射。本论文的结构和要点如下：第一章介绍了