继被用于主动式磁悬浮轴承、主动式隔振、非接触式激振和高速列车的浮起等之后, 磁悬浮驱动技术在小行程的跟踪和精密运动控制中也得到了日益广泛的应用.国外于九十年代中期将其用于CNC非圆活塞车床的刀具微进给驱动,取得了优于其他进给方式的结果.但 目前仍存在不少问题,如许用行程小、间隙利用率低、频宽窄、发热、欠阻尼、及跟踪精度差等.针对以上问题,该文进行了以下工作:1)在对电磁负刚度进行补偿时,首次提出了基于系统整个通频带的正刚度匹配方案.2)在跟踪型磁悬浮系统中,首次提出并实现了励磁系统的交、直流分离,解决了大电感负载、大偏置电流、高频驱动时产生的饱合和发热问题.3)设计了新的移动板结构,同时具有良好的电磁性能和机械强度,能有效抑制涡流的产生,扩展了磁路的通频带,降低了发热;4)首次提出并实现了一种基于单自由度磁悬浮驱动原量的无传感器的加速度反馈构造方法.5)设计了具有双位置环的数模混合型控制系统.6)在以上研究结果的基础上,研制了一种新型的大推力、高响应、高精度电磁式微进给机构.