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该论文以重要的半导体材料Si和GaAs为主要的研究对象,围绕提高SIMS定量分析精度进行了应用和基础研究.
SIMS定量分析中RSF重复性和深度分辨本领的研究
【摘 要】
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该论文以重要的半导体材料Si和GaAs为主要的研究对象,围绕提高SIMS定量分析精度进行了应用和基础研究.
【机 构】
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清华大学
【出 处】
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清华大学
【发表日期】
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2000年期
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