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【摘 要】
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近年来臭氧在人类的生活和生产中日益发挥重要的作用，人们对臭氧危害的认识也日益提高，对臭氧(尤其是ppb范围的低浓度臭氧)的监测和控制已被提到日程上来。通过研究发现，利用悬浮栅结构和功函数变化的方法研制的HSGFET型臭氧传感器能够实现对低浓度臭氧的测量。此方法具有小型化、固态化、功耗低、灵敏度高和响应速度快的特点，同时能够在室温下工作，为低浓度臭氧的测控提供了重要途径。本文系统分析了臭氧在敏感膜表
【机 构】
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南开大学
【出 处】
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南开大学
【发表日期】
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2007年12期
【基金项目】
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