【摘 要】
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该文主要研究一种MEMS器件——多层弯曲磁芯结构磁驱动微执行器的计算机模拟.尽管MEMS近年来得到了广泛的研究,但对于微执行器的关注仍然不如微传感器.该文首先综述了几种常
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该文主要研究一种MEMS器件——多层弯曲磁芯结构磁驱动微执行器的计算机模拟.尽管MEMS近年来得到了广泛的研究,但对于微执行器的关注仍然不如微传感器.该文首先综述了几种常见的磁驱动微执行器工作原理,并比较了各自的特点.然后,选择其中一种——多层弯曲磁芯结构——在文中进行了模拟.该文针对于多层弯曲磁芯结构磁微执行器有限元模型进行了分析.介绍了电磁分析中的有限元分析方法的一些理论并且根据这些理论建立结构的有限元模型,对模型进行模拟.最后一部分是软件编程,包括多层弯曲磁芯结构驱动微执行器模拟程序的结构、器件模拟软件的组织、基于Delphi的编程以及整个SUMECMEMSCAD软件的设计构思.
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