视网膜上假体可以分为外部装置和内部装置,其中内部装置包括了神经接口模块,即刺激视网膜神经细胞的微电极阵列。作为电子器件与视网膜上的神经组织的接口界面,微电极阵列是整个视网膜上假体系统中相当关键的部分,对视觉感知的有效性和准确性起到了关键作用。近年来,随着微机电系统(MEMS)工艺的迅猛发展,柔性薄膜微电极的研究突破了许多瓶颈,刺激电极的性能和植入的安全性都有了很大的提高。本文对视网膜上假体的柔性薄膜微电极阵列进行研究,基于MEMS双层工艺设计了多通道的双金属层薄膜电极,并且通过电化学实验评估了电极的性能。本文的主要研究内容包括:一、分析了国际上视觉假体的研究小组所采用的不同类型的微电极,基于我们的研究小组的课题需要,设计并制作了用于视网膜上修复的64通道的双层柔性薄膜微电极,给出了详细的设计依据和参数,通过MEMS技术制作了基于铂材料的电极,并进行了引线焊接和封装。根据制作和初步测试的反馈,提出了基于金材料的薄膜电极的优化设计。二、研究了三电极法的测试原理,针对传统的手动测试方法的不足,提出了一种电极的阻抗自动测试系统,介绍了系统各个部分的功能,具体设计和制作了电极连接装置,有效提高了测试效率和安全性。三、研究了电极-电解液界面的电化学理论基础,并讨论了等效电路模型,作为电极测试的理论基础。搭建电极测试的仿生环境,对封装完毕薄膜电极的阻抗和相位等电化学性能进行了分析和讨论。四、总结了设计和制作视网膜上多通道柔性薄膜电极的关键问题,并提出了研究展望和面临的挑战。