静电激励/电容拾振的谐振梁式小型压力传感器的研究

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该文是高性能、高精度的静电激励/电容拾振的谐振压力微传感器研制的预研.在该文中完成对静电激励/电容拾振的谐振梁式敏感结构的激励和拾振原理、动态和静态特性、输入输出信号的相位幅值关系深入的理论分析;研究了静电激励/电容拾振的谐振梁敏感结构的同频干扰及国内外消除同频干扰的方案;提出了能有效减小静电激励/电容拾振的谐振梁压力传感器同频干扰的新方案,并对自行设计加工的小型的实验模型进行开环和闭环实验来检验新方案的效果.该文提出的新方案丰富了谐振传感器研究的内容,同时对其它谐振传感器的研究有一定应用和参考价值.
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