【摘 要】
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我们研究了激光的能量密度和沉积氧压对脉冲激光沉积的SrTiO3 薄膜化学计量比的影响.研究发现符合化学计量比的SrTiO3 薄膜具有一个较宽的生长窗口，即当生长氧压接近或者
【机 构】
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Department of Physics,Temple University,PA 19122,USA
【出 处】
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第十四届全国电介质物理、材料与应用学术会议
论文部分内容阅读
我们研究了激光的能量密度和沉积氧压对脉冲激光沉积的SrTiO3 薄膜化学计量比的影响.研究发现符合化学计量比的SrTiO3 薄膜具有一个较宽的生长窗口，即当生长氧压接近或者低于10-2 Torr时，所需的激光能量密度低于或者接近1.0 J/cm2；当生长氧压为0.1Torr时，激光能量密度在所研究的0.9到2.3J/cm2范围均满足要求.我们认为激光剥离出来的粒子的动能对脉冲激光法制备薄膜的化学计量比有重要影响.低的激光能量密度以及高氧压条件下粒子的短的平均自由程都会导致剥离出来的粒子的动能减少，这一作用可以抑制薄膜表面的反溅射作用，因而有利于获得符合化学计量比的薄膜.
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