铁电材料因其具有铁电性、压电性、热释电性以及非线性光学效应等特性,在许多领域有着极其重要的应用。铁电畴是其物理基础,铁电畴的结构及其运动规律直接决定了铁电体物理性质及其应用方向。如何准确的探测铁电畤,是铁电物理学研究中的重要内容。压电力显微镜(PFM)与其它铁电畴的研究方法如偏光显微镜、表面腐蚀、粉末花样技术、扫描电子显微镜和透射电子显微镜等相比,具有制样简单(试样无需预处理)、操作环境简易(在大气环境下即可进行)、成像迅速(扫描及成像同步进行)、铁电畴分辨率高(纳米级分辨率)以及畴结构无损伤等显著的优点,现已成为探测和控制铁电畴结构强有力的研究手段。但是,同其它分析测试技术一样,PFM在探测纳米尺度铁电畴时,同样会出现电畴图像失真的现象。失真的电畴图像显然不能正确地反映铁电材料的真实本质,从而失去了研究的意义。本文用不同的PFM探针、测试参数、扫描控制台参数等获取铁电薄膜及纳米阵列的电畴图像,对PFM在探测纳米尺度铁电畴时电畴图像失真的机理进行研究,探索了避免电畴图像失真的技术措施,为无失真纳米尺度电畴的探测提供了重要的理论与实验依据。