【摘 要】
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GaN based LED manufacturing for solid state lighting (SSL) requires advanced high yield and throughput MOCVD production tools.The CRIUS? Ⅱ-XL capacity of 1
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GaN based LED manufacturing for solid state lighting (SSL) requires advanced high yield and throughput MOCVD production tools.The CRIUS? Ⅱ-XL capacity of 19×4” is the largest available on the market.This paper discusses recent developments in the MOCVD tool design to facilitate further reduction of the production costs.
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