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【摘 要】
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高额晶Si材料成本和薄膜Si材料的自身缺陷使得基于纳米结构光管理工程来获得薄膜高效第三代晶Si电池成为研究热点。本文利用严格耦合波分析方法(RCWA)，在前期1微米晶Si薄
【机 构】
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中国科学院纳米技术与纳米仿生研究所,中科院纳米器件与应用重点实验室,苏州 215123
【出 处】
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第十三届全国固体薄膜学术会议
【发表日期】
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2012年期
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