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光致抗蚀剂是一类光敏高分子聚合物,受到光能照射时,分子内部发生聚合或分解反应,生成对某些溶剂可溶或不可溶的物质,微细加工中可利用这种特性来得到所需要的几何图形.抗蚀剂是进行微细图形加工,制造微电子器件和印刷线路板的一种关键化学品.本文主要介绍光致抗蚀剂的研究发展情况.
光致抗蚀剂的研究发展
【摘 要】
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光致抗蚀剂是一类光敏高分子聚合物,受到光能照射时,分子内部发生聚合或分解反应,生成对某些溶剂可溶或不可溶的物质,微细加工中可利用这种特性来得到所需要的几何图形.抗蚀
【机 构】
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江苏广信感光新材料股份有限公司
【出 处】
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2012年第十三届中国辐射固化年会
【发表日期】
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2012年期
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