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毛细管电泳芯片是一种基于MEMS技术制作，用于生化样品分离、分析、检测的微流控芯片。目前，芯片工艺研究主要集中在微结构制作，对于热压键合技术完成微通道密闭未进行系统研究。热压键合主要参数有键合温度、键合压力、保温保压时间。确定工艺参数对微结构的尺寸形变和成品率有非常重要的影响。本文综合考虑键合强度和截面形变率两方面因素，定义PMMA芯片键合质量评估方法，优化热压键合工艺参数，并对键合芯片完成无机离子检测验证实效性。