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热解吸用于表面污染物分析的实验研究
热解吸用于表面污染物分析的实验研究
来源 :中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十七届年会、中国计量测试学会真空计量专业委员会第十二届年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:tshanyf
【摘 要】
:
质谱分析法是用来分析表面污染物的一种有效方法,目前已经出现了许多常温常压下的直接离子化质谱技术,建立了各具特色的样品快速质谱分析方法.本文主要利用大气压下进样的热
【作 者】
:
刘顺明
肖梅
张晓兵
【机 构】
:
东南大学电子科学与工程学院,南京,210096
【出 处】
:
中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十七届年会、中国计量测试学会真空计量专业委员会第十二届年会
【发表日期】
:
2013年期
【关键词】
:
热解吸
表面污染物
污染物分析
样品
质谱分析方法
质谱分析法
质谱技术
载气
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质谱分析法是用来分析表面污染物的一种有效方法,目前已经出现了许多常温常压下的直接离子化质谱技术,建立了各具特色的样品快速质谱分析方法.本文主要利用大气压下进样的热解吸方法对三种不同样品进行实验,探讨了被检测样品的性质、载气的温度以及载气的流量的影响,并且探究了目前样品的检测限.
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