论文部分内容阅读
利用离子注入技术进行材料表面改性，具有不改变工件的几何尺寸和材料的基体性质，蝗高材料表面的硬度，抗磨损，耐腐蚀，抗疲劳，降低摩擦系数等特点。MEVVA金属离子源是八十年代中期发展起来的新型强流离子源，该源具有可产生金属离子种类多、离子束纯、束流大、电荷剥离态高等优点。MEVVA金属离子源利用真空弧放电原理产生高密度金属等离子体，在引出电场作用下，形成强流离子束。