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干涉测量的方法已被广泛应用于光学系统的波前测试中.但是由于高数值孔径的标准具加工成本高、风险大，使用干涉测量的方法对高数值孔径光学系统进行测试存在困难.本文运用扩展奈波尔泽尼克理论对高数值孔径光学系统进行波前测试.利用小孔衍射光束作为高精度测试基准波前，使用FDTD 对小孔衍射波前进行了精度分析.搭建检测平台完成对显微镜光学系统的波前测试.通过验证实验，证明了这种测试方法的可靠性.经过分析，测试误差约为5.6nm.