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光波导光学相控阵较其它电光材料光学相控阵具有扫描角度大，响应速度快等突出优点.针对均匀光波导阵列的衍射场存在较强的旁瓣，影响相控阵扫描性能，因此旁瓣抑制是光波导相控阵阵列器件应用面临的重要问题之一.根据对称型薄膜介质耦合理论，分析GaAs光波导阵列单元芯层和包层尺寸参数范围.在最小阵元间距约束条件下，基于遗传算法设计了稀布型光波导阵列，对非均匀阵列结构进行优化.仿真分析不同层数下单元间距按照随机递增分布、随机分布、子阵分布的旁瓣压缩效果.结果表明稀布型光波导阵列可有效地抑制旁瓣，实现了旁瓣主瓣峰值强度比降低到－10.29／dB 的窄主瓣宽度的扫描光束.综合考虑旁瓣压缩效果和实际工艺难度，提出了子阵GaAs光波导阵列结构，对光波导阵列结构的优化设计具有理论指导意义.