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本文概述了集成MEMS系统的基本组成结构、特点和集成系统加工技术.以国内外最新的几个研究成果报道为例说明了集成MEMS系统的发展现状,并详细总结了集成MEMS系统今后研究开展的若干方向.
集成MEMS系统的研究与发展
【摘 要】
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本文概述了集成MEMS系统的基本组成结构、特点和集成系统加工技术.以国内外最新的几个研究成果报道为例说明了集成MEMS系统的发展现状,并详细总结了集成MEMS系统今后研究开展
【机 构】
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机械制造系统工程国家重点实验室,西安,710049
【出 处】
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第九届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
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2005年期
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