【摘 要】
：
硅电容传感器、变送器以其高精度、高可靠性和长时间免维护的高稳定性牢牢地占有着差压传感器、变送器的高端市场.本项目针对硅电容差压传感器、变送器的器件与结构两方面进
【机 构】
：
沈阳仪表科学研究院,辽宁省,沈阳市,110043
【出 处】
：
第九届全国敏感元件与传感器学术会议
论文部分内容阅读
硅电容传感器、变送器以其高精度、高可靠性和长时间免维护的高稳定性牢牢地占有着差压传感器、变送器的高端市场.本项目针对硅电容差压传感器、变送器的器件与结构两方面进行了充分的研究,采用MEMS工艺生产小型硅电容器件和三膜片结构组成传感器受压部本体,研制出了自主知识产权的满足工业自动化过程控制使用的硅电容差压传感器、变送器.目前,样品的研制和基本性能测试已完成.从测试结果看,其非线性、重复性、迟滞性、零点和量程的温度影响、压力过载保护等达到并超出了攻关的技术指标.本文将从硅电容传感器、变送器的芯体与结构两方面从原理和工艺角度加以分析介绍,并给出了实际测试数据.
其他文献
女性生殖系统除大阴唇和部分小阴唇的被覆上皮与体表皮肤相似外,外阴粘膜部、阴道及宫颈阴道部也为鳞状上皮覆盖,因此凡是皮肤能见到的黑色素细胞的各种疚病,在女性生殖道的
四川大学华西第二医院1998年5月～2005年8月会诊切片共1963例,其中宫内膜疾病共553例,占会诊病例的28.2﹪.其原位单诊断与会诊诊断符合率为36.5﹪,非符合率为63.5﹪.本文通过分析其原
本文介根据2003年世界卫生组织(WHO)阴道肿瘤组织学分类，以及阴道TNM及FIGO临床分期(选自世界卫生组织WHO2003年公布)，探讨了阴道恶性肿瘤病理诊断的进展。
本文探讨了新辅助化疗治疗局部晚期宫颈癌的疗效及影响近期疗效的相关因素,以及对忠者远期生存的影响.分析了1999年6月至2004年10月在我院行新辅助化疗的Ⅰb2～Ⅱb期局部晚期宫
在维修工程中,应用虚拟现实技术对产品的维修性进行分析,对于提高产品的维修性、降低产品的开发及维护成本具有重要意义.维修过程中的人素分析是维修性分析的重要组成部分.该
归纳、分析了浙江省电厂DCS系统出现的故障原因,对故障处理的过程及注意事项进行了说明.为提高分散控制系统可靠性,从管理角度提出了一些预防措施建议,供参考。
河津电厂二期工程2×300MW引进型机组的DCS系统,采用了爱默生过程控制公司(原西屋公司)最新一代DCS控制系统OVATION-XP版,为国内第一家火力大机组控制全面以PC机为基础采用视
本文回顾和概括了MEMS传感器进入微米尺度后解决的几个关键性问题.文中结合微传感器发展的典型事例进行分析,并对我国科学工作者在其中的贡献给予肯定.在总结的基础上分析目
为保证机组安全、经济运行,提高调节品质,采用DCS对电厂自动控制回路进行优化是目前电力行业发展的趋势.本文主要介绍了WebFieldECS-100分散控制系统的结构和特点,及其在宁夏
信息科学已成为高新技术发展的源泉,在各种生产、科学研究和社会活动中,无处不涉及到信息的获取、交换和利用.即迅速获取信息,正确处理信息,充分利用信息.信息已被转化为现代