【摘 要】
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本文对三维集成光分束器件的研究进展进行了概述。三维集成光分束器件在保持二维集成光学的可靠性和结构稳定性基础上，可以有效扩大单个芯片上的通信信道数，增加集成密度，缓和二
【机 构】
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浙江大学信息与电子工程学系,杭州310027
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本文对三维集成光分束器件的研究进展进行了概述。三维集成光分束器件在保持二维集成光学的可靠性和结构稳定性基础上，可以有效扩大单个芯片上的通信信道数，增加集成密度，缓和二维平面结构输入输出困难等问题。本文还报道了一种采用多模干涉自映像原理的三维集成光分束器件的实验实现，该器件可实现水平和垂直两个方向上光功率分配，并对该光分束器件在三维集成光学回路中的应用进行探讨。
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